[장비]
- 진공 기화물 용광로
- 3 (차가운, 반 hot) (기화/질화 기능 포함)
- 진공 퍼니스
- 2 RQ (260KPA, 금속 방패)/NQPC (600KPA, N2, AR, H2)
- 작은 로트 트리트먼트 장비
- Vacuum Degreeereaser
- 2 Cryo-Dryers (C 유형) 몰입 cryo (V-C 유형)
- 확산 본딩을위한 핫 프레스 데모 머신
- 전자 프로브 Microanalyzer epma
- 탄소 분석기 EMIA
[장비]
열 처리 기술 센터
14, Techno Plaza 2-Chome, Kakamigahara City, Gifu 509-0109, Japan